오일형 DVE 진공 펌프는 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 DVE 진공 펌프 유형입니다. 주요 특징은 새로운 산업의 특수 공정 요구 사항을 충족할 수 있는 고진공입니다. 그 중 로터리 베인 DVE 진공 펌프와 왕복 DVE 진공 펌프가 대표적이다.

시간이 흐르고 사회가 발전함에 따라 다양한 응용 분야에서의 성능은 사람들에게 점점 더 만족스럽지 않게 되었습니다. 예를 들어 로터리 베인 DVE 진공 펌프는 수증기, 응축성 가스 및 부식성 가스 등을 펌핑할 수 없으므로 건식 DVE 진공 펌프가 탄생했습니다.

지난 10여 년 동안 여러 유형의 건식 DVE 진공 펌프가 설계 및 생산되었으며 기계적 구조 설계에서 분명한 차이가 있습니다. 이러한 차이로 인해 건식 DVE 진공 펌프를 원형 분할형, 클로형, 결합형(루츠 클로), 나사형의 유형으로 일반화할 수 있습니다. 오늘날 이러한 유형은 다양한 제조업체에서 널리 사용됩니다.

그 중 원형분할형, 클로형, 결합형(루츠클로)을 다단펌프라고 한다. 거의 같은 방식으로 작동하기 때문에 모두 다단계 진공 챔버를 사용하여 가스를 반복적으로 압축하여 진공을 생성합니다. 압축을 반복하는 과정에서 기체의 온도와 압력도 더 복잡한 변화를 일으키므로 기체의 물성 변화를 일으키기 쉽습니다.

스크류 타입은 진공 챔버에만 의존하여 진공을 생성하기 때문에 1단 펌프라고 합니다. 다른 가스 압축 방법에 따라 내부 압축 형 스크류 펌프와 외부 압축 형 스크류 펌프로 나눌 수 있습니다.